Вы здесь

Кафедра физики полупроводников и микроэлектроники

1959

Заведующий кафедрой

Контактная информация

394018, г.Воронеж, Университетская пл., д.1, к.220
Тел.: +7 (473) 2 208 633

История кафедры

Кафедра физики полупроводников и микроэлектроники организована в 1959 г. в связи со становлением и развитием отечественной электронной промышленности и организацией в Воронежской области крупного научно-производственного объединения «Электроника». Из приказа №327/у от 10.06.1959г. о создании кафедры: В соответствии с приказом МВО СССР №614 от 25.05.1959г. 1. Разделить кафедру электромагнитных колебаний на кафедру электромагнитных колебаний и кафедру ядерной физики. 2. Разделить кафедру радиофизики на кафедру радиофизики и кафедру физики полупроводников и микроэлектроники. Заведующие: 1959 – 1961 гг. – Катасонов Николай Васильевич, доцент кафедры радиофизики физического факультета ВГУ; 1961 – 1963 гг. – Нифонтов Николай Григорьевич, крупный специалист в области физики твердого тела и полупроводниковой технологии, Алжирский университет, Франция. Нифонтовым Н.Г. была организована одна из первых в стране проблемная лаборатория по микроэлектронике. В лаборатории проводились пионерские работы по проектированию и технологии гибридных схем для космической отрасли; 1963 – 1988 гг. – Сыноров Владимир Федорович, Томский госуниверситет, открыл новое научное направление на физическом факультете – физика поверхности. Были заключены договора о целевой подготовке специалистов для Киева (НПО «Кристалл»), Минска (НПО «Интеграл»), Шауляй (завод полупроводниковых приборов) и др. В конце 80-х гг. доцент Гольдфарб В.А. организует отраслевую лабораторию плазменной технологии от двух министерств: Министерства электронной техники и Министерства электротехнической промышленности. В рамках этой лаборатории решались крупные задачи, связанные с силовой техникой, солнечной энергетикой, создание СБИС с элементами субмикронных размеров. С 60-х годов на кафедре функционирует аспирантура, а затем и докторантура; 1988 – 2003 гг. – Петров Борис Константинович, крупнейший специалист в области моделирования СВЧ-транзисторов, автор нескольких монографий, создавший свою научную школу; 2003 – н.в. – Бормонтов Евгений Николаевич, ведущий специалист в области физики полупроводников и микроэлектроники.

Научная деятельность

С 2003 г. кафедрой заведует профессор Бормонтов Е.Н. – ведущий специалист в области физики полупроводников и микроэлектроники. Под его руководством защищены 16 кандидатских и одна докторская диссертации. В настоящее время кафедра ведет активную научную работу по актуальным фундаментальным и прикладным проблемам: физика поверхности и микроэлектроника, силовая электроника, плазмохимия, функциональная электроника, термодинамика фазовых переходов и материаловедение, наноэлектроника и нанотехнологии. Кафедра имеет филиал на ФГУП НИИЭТ.

Основные направления научной деятельности:

- фундаментальные и прикладные проблемы физики поверхности и микроэлектроники;
- теоретические и прикладные исследования в области силовой электроники;
- физические процессы в низкотемпературной газоразрядной плазме;
- фундаментальные и прикладные исследования в области функциональной электроники;
- разработка материалов, технологий, элементов и приборов наноэлектроники;
- физические основы наноэлектроники и нанотехнологий;
- процессы самоорганизации в нанотехнологии;
- материалы и приборы спинтроники;
- развитие схемотехнических методов проектирования функциональных блоков для систем на кристалле с субмикронными топологическими нормами;
- применение структур параллельной обработки информации для создания высокопроизводительных устройств электронной техники.

Кафедра имеет богатый опыт сотрудничества в области микро- и нанотехнологий с университетами и институтами: ВГТУ (разработка водородных топливных элементов), ВГАСУ (разработка технологии наномодифицированных сверхпрочных строительных материалов), ИГЕМ РАН (исследование природных наносистем), Тамбовским инновационным предприятием по производству наноматериалов ООО «НаноТехЦентр», Центром перспективных технологий МГУ.

Направления подготовки: 

Подготовка бакалавров со сроком обучения 4 года ведется по двум направлениям:
03.03.03 Радиофизика (проходной балл за 2016: 185),
11.03.04 Электроника и наноэлектроника (проходной балл за 2016: 177).

Подготовка магистров со сроком обучения 2 года ведется по трем направлениям:
03.04.03 Радиофизика,
11.04.04 Электроника и наноэлетроника,
03.04.02 Физика.

Научные лаборатории:

Для того чтобы обеспечить профильно-ориентированную физико-математическую и специализированную проектно-конструкторскую подготовку для проведения научных исследований и разработки перспективных наукоёмких технологий в области интегральной электроники и наноэлектроники, используются:
- лаборатория СВЧ и МДП приборов, лаборатория спецпрактикумов кафедры физики ПП и МЭ – обеспечивают материально-техническую базу дисциплин, посвященных физике полупроводниковых приборов, схемотехнике, а также проектированию устройств электроники. Имеют следующее оборудование: цифровые осциллографы АКИП 4115/4А (6 шт.), функциональные генераторы Rigol DG1022 (6 шт.), учебно-измерительный комплекс NI Elvis II (1 шт.), лабораторный стенд для исследования полупроводниковых свойств твердых тел (1 шт), лабораторный стенд для исследования биполярных структур (1 шт.); лабораторный стенд для исследования униполярных структур (1 шт.); лабораторный стенд для исследования вольт-фарадных характеристик (1 шт.); тестовая плата ПЛИС Altera MAX II (3 шт.); тестовая плата ПЛИС Altera Cyclone IV (1 шт.); Arduino Uno с набором датчиков (6 шт.); измеритель характеристик п/п приборов Л2-56 (1 шт.), измерители RLC Е7-12 (2 шт.) компьютеры Pentium Dual Core (5 шт.);
- лаборатория функциональных наноматериалов кафедры физики ПП и МЭ – обеспечивает материально-техническую базу материаловедческих дисциплин. Имеет следующее оборудование: анализатор размеров наночастиц Photocor Mini – 1 шт.; аналитические весы VIBRA HT 84RCE – 1 шт.; ультразвуковой диспергатор УЗД1- 0,063/22 – 1 шт.; микроинтерферометр МИИ4 – 1 шт.;
- лаборатория плазменной технологии в микроэлектронике, лаборатория неразрушающих методов контроля им. проф. Ю.И.Урывского, лаборатории технологии полупроводниковых материалов и приборов – обеспечивают материально-техническую базу дисциплин, посвященных технологии электронной компонентной базы. Имеют следующее оборудование: установки радикального, плазмохимического, реактивного ионно-плазменного травления, форвакуумные насосы 2НВР-5Д, диффузионные насосы Н5С, вакуумный агрегат ВА-02, ВЧ генераторы УВ-1, ЛГД-2, микроинтерферометр МИИ4, установка вакуумная УВН-2М с магнетронным устройством; эллипсометр Э-3; печь «Изоприн»; измеритель характеристик п/п приборов Л2-56. Для того чтобы обеспечить специализированную компьютерную подготовку, позволяющую эффективно решать научно-исследовательские задачи и выполнять проектно-конструкторские работы с привлечением современных программных сред моделирования и проектирования, используются:
- лаборатория вычислительных систем и математического моделирования, оборудованная персональными компьютерами (10 шт.), соединенными с сервером (на базе 2-х шестиядерных процессоров Xeon E5-2620 v3.). Сервер содержит необходимое свободное программное обеспечение (SciLab, Quartus, Lammps, Icarus-Verilog, Electric VLSI, Qucs);
- лаборатория спецпрактикумов кафедры физики ПП и МЭ, оборудованная персональными компьютерами (5 шт.), а также учебным программно-измерительным комплексом Elvis II, включающем лицензионное ПО LabView и Multisim;
- cуперкомпьютерный центр ВГУ, который обеспечивает пиковую производительность 40 Tflops (240 процессорных ядер, 20 ускорителей вычислений, 1,2 Тбайт оперативной памяти, 40 Тбайт хранилища данных) и имеет установленное лицензионное ПО для расчета структуры и свойств молекулярных систем Gaussian09;
- в рамках проведения производственных практик используются ресурсы фирм и предприятий (АО «НИИЭТ», АО «ВЗПП-Микрон», АО «КТЦ «Электроника», ЗАО «Тезис-Интехна»), включающие профессиональное программное обеспечение фирм Cadence, Synopsys, Tanner Research. Для того чтобы способствовать развитию творческого потенциала и интеллектуальной зрелости, формированию критического мышления, коммуникативных навыков и этической ответственности, необходимых в конкурентной среде, студенты привлекаются к научно-исследовательской работе, в ходе которой используется уникальное научное оборудование ЦКПНО ВГУ, такое как: сканирующий электронный микроскоп JSM-6380 LV; ИК-Фурье спектрометр Vertex 70; рентгеновский дифрактометр Thermo ARL X'TRA; атомно-силовой микроскоп SOLVER P47 (полный список оборудования доступен на сайте http://www.ckp.vsu.ru).

Конференции:

Студенты, аспиранты и молодые сотрудники кафедры регулярно принимают участие в научных конференциях и семинарах в России и зарубежом.
- International conference on Nanoscience and Technology (ICN+T) Париж, Франция
- European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis, ECASIA Сардиния, Италия
- "Chemical Engineering and Materials Science" Венеция, Италия
- Всероссийская молодежная научно-техническая конференция с международным участием "Инновации в материаловедении" Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова РАН Москва, Россия
- Всероссийская конференция молодых ученых «Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика» Саратов, Россия
- Международная научно-техническая конференция «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике» Москва, Россия
- Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых учёных «Ломоносов» Москва, Россия
- Научная молодежная школа «Физика и технология микро- и наносистем» Санкт-Петербург, Россия
- Всероссийская школа-семинар студентов, аспирантов и молодых ученых по направлению «Наноматериалы» Рязань, Россия
- Молодежная конференция по физике полупроводников и наноструктур, полупроводниковой опто- и наноэлектронике Санкт-Петербург, Россия
- Всероссийская конференция «Структурные основы модификации материалов (МНТ)» Обнинск, Россия
- Всероссийская конференция по наноматериалам «НАНО» Звенигород, Россия
- Международная научно-техническая конференция «Нанотехнологии» Таганрог, Россия
- Международная научно-техническая конференция «Радиолокация, навигация, связь» Воронеж, Россия

Участие в грантах: 

Международные проекты:
Европейский союз в рамках 7-ой рамочной программы:
-FP7-IRSES-295260 "ECONANOSORB" 2012-2016 гг.

Российские проекты:
Российский фонд фундаментальных исследований: 
-14-02-31315 мол_а "Модуляция электронной структуры и эффекты сильного электрического поля в ограниченных по длине одностенных углеродных нанотрубках сверхмалого диаметра ";
-16-32-00926 мол_а " Спиновая поляризация электронов в чистых и допированных ультракоротких углеродных нанотрубках в стационарном электрическом поле" 
-16-43-360281 рег_а "Физико-химические основы низкотемпературного синтеза наноструктур на основе карбида кремния для электронной компонентной базы экстремальной электроники ".

ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы»: 
-«Создание программно-вычислительного комплекса для компьютерного моделирования наноструктурных сорбентов и процессов адсорбции».

Президентская программа повышения квалификации инженерных кадров:
-«Приборно-технологическое проектирование компонентной базы микро- и наноэлектроники» для специалистов «Воронежского завода полупроводниковых приборов-Сборка»

Трудоустройство:

Прикладная направленность подготовки специалистов позволяет выпускникам кафедры легко трудоустраиваться в соответствии со своей квалификацией и быстро адаптироваться к различным производственным условиям. 

АО "ВЗПП-С" Инженер-конструктор Бакалавры 2017 г.
АО "ВЗПП-С" Инженер-технолог КТЦ "Электроника" Инженер Бакалавры 2016 г.
АО«Модуль-В» Инженер-схемотехник Бакалавры 2015 г./магистры 2017 г.
АО "Концерн"Созвездие" Конструктор Бакалавры 2015 г./магистры 2017 г.
ООО «МикроДизайн» Инженер-проектировщик Магистры 2015 г.
ЗАО "Тезис-Интехна" Инженер-проектировщик Магистры 2015 г.
"DSR" Инженер-программист Магистры 2015 г. ООО
«Атос ИТ Солюшенс энд Сервисез» Ведущий инженер Магистры 2015 г.
АО ПКК "Миландр" Инженер Магистры 2012, 2014/ специалисты 2010, 2011, 2015
Управление по развитию инновационной инфраструктуры Воронежской области "Агентство инноваций и развития экономических и социальных проектов".

Средняя заработная плата выпускника кафедры, работающего по специальности в г.Воронеже – не менее 30 000 руб.

Сотрудники кафедры:

Бормонтов Евгений Николаевич - заведующий кафедрой
Битюцкая Лариса Александровна - доцент
Богатиков Евгений Васильевич - доцент
Быкадорова Галина Владимировна - доцент
Владимирова Людмила Николаевна - доцент
Жукалин Дмитрий Алексеевич - доцент
Захарченко Александр Александрович - доцент
Клюкин Владимир Иванович - доцент
Машкина Екатерина Сергеевна - доцент
Меньшикова Татьяна Геннадьевна - доцент
Невежин Евгений Викторович-  доцент
Николаенков Юрий Кимович - доцент
Тучин Андрей Витальевич -  доцент
Хухрянский Михаил Юрьевич - доцент
Цоцорин Андрей Николаевич - доцент
Воробьев Владимир Васильевич - ассистент
Шебанов Александр Николаевич - ассистент
Петраков Владимир Иванович-  заведующий лабораторией
Сахаров Борис Николаевич - заведующий лабораторией
Чуриков Анатолий Алексеевич - заведующий лабораторией Дикарев
Юрий Иванович ведущий - инженeр
Паращенко Елена Александровна -  ведущий инженeр
Рубинштеин Владимир Михайлович - ведущий инженeр
Куликова Татьяна Валентиновна - инженер 2 категории
Гречкина Маргарита Владимировна - ведущий электроник
Баев Александр Анатольевич - электроник 1 категории
Кузнецова Галина Алексеевна - старший лаборант