Машкина Екатерина Сергеевна

кандидат физико-математических наук, доцент

Область научных интересов:
неравновесные фазовые переходы, термодинамика неравновесных процессов, нанотехнологии, наноматериалы.

E-mail: me22-1@phys.vsu.ru

Читаемые курсы:

• Элементная база наноэлектроники
• Основы технологии электронной компонентной базы
• Лаборатория по технологии
• Проектирование и технология УБИС
• Основы технологии полупроводниковых и интегральных схем

Методические материалы:

Технологии твердотельной электроники (методическое пособие)
Литографические процессы в технологии твердотельной электроники (методическое пособие)

Вопросы к зачетам:

Основы технологии электронной компонентной базы (11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", 6-7 семестры)
Основы микро- и наносистемной техники (11.04.04 "Электроника и наноэлектроника")
Основы технологии полупроводниковых и интегральных схем (03.03.03 "Радиофизика")
Проектирование и технология УБИС (11.04.04 "Электроника и наноэлектроника")

Темы курсовых работ:

Курсовая по основам технологии электронной компонентной базы
Курсовая по основам технологии полупроводниковых интегральных схем

Список тем научно-исследовательского семинара