История кафедры начинается с открытия в 1936 году кафедры электромагнитных колебаний. Ее основателем является Мария Афанасьевна Левитская (1883 — 1963) — одна из первых русских женщин-ученых, открывшая субмиллиметровые волны в шкале электромагнитных колебаний. А в 1961 году кафедры стала называться кафедрой физики твердого тела после отделения от нее кафедр оптики и ядерной физики. в 2006 году, в связи с расширением области научных интересов кафедры, появилось новое название — кафедра физики твердого тела и наноструктур. (см. Подробнее в разделе «История»)